一種製作高功率發光二極體的方法，包含下列步驟：(A)提供一具有一磊晶體的藍寶石基板，及一具有一由可被一雷射光分解的材料所製成的中間膜的第一基板，第一基板是由可被雷射光穿透的材質所製成；(B)利用一貼合模黏合磊晶體及中間膜；c將藍寶石基板研磨達一小於50μm的預訂厚度；(D)利用雷射光照射第一基板裂解中間膜的材料，以分離第一基板及藍寶石基板；(E)以一蝕刻移除貼合膜。該方法可製作出一高功率發光二極體，包含：一具有一磊晶面及一相反磊晶面的背光而且一預度厚度小於50μm的藍寶石基板及一形成在藍寶石基板之磊晶面的磊晶體。