本發明提供一種電沈積銅奈米粒子之方法，其包括下列步驟：（A）提供一電沈積反應系統，該電沈積反應系統包括一電解液、一置於電解液中的導電氮化物膜作為工作電極、一置於電解液中的銅金屬或銅合金作為輔助電極、以及一置於電解液中的參考電極；以及（B）施加脈衝電壓於該電沈積反應系統，使該導電氮化物膜表面形成銅奈米粒子。