- 專利名稱(中文) / 製備氮摻雜二氧化鈦之方法
- 專利名稱(英文) /
- 所屬單位(一級單位) / 工學院
- 所屬單位(二級單位) / 材料科學與工程學系
- 發明人(中文) / 呂福興
- 發明人(英文) /
- 申請國家 / 中華民國
- 專利類型 / 發明
- 專利證書號 / I385264
- 技術成熟度 / 實驗室階段
一種製備氮摻雜二氧化鈦(TiO2-xNx)之方法,係於一密閉腔體內置入一鈦靶材與一基材,將空氣與氬氣(Ar)依流量比1.1~3通入密閉腔體中,並控制密閉腔體之工作壓力於1.33×10-2 Pa~0.13 Pa,以物理氣相沈積方法在該基材表面形成氮摻雜二氧化鈦。由於本發明以空氣作為反應氣體,且背景真空度之要求較習知方法為低,故具有製程時間短與成本低之優點。