國立中興大學科研產業化平台

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  • 專利名稱(中文) / 一種複合薄膜之微氣體感測裝置
  • 專利名稱(英文) / A COMPOSITE THIN FILM MICRO GAS SENSOR.
  • 所屬單位(一級單位) / 工學院
  • 所屬單位(二級單位) / 機械工程學系
  • 發明人(中文) / 戴慶良
  • 發明人(英文) /
  • 申請國家 / 中華民國
  • 專利類型 / 發明
  • 專利證書號 / I436056
  • 技術成熟度 / 實驗室階段

一種複合薄膜之微氣體感測裝置及其結構,分為電阻式與電容式。其中該電阻式的複合薄膜之微氣體感測裝置,係為利用電阻變化來測量待測氣體的分子濃度變化量,該電阻式的複合薄膜之微氣體感測裝置包含:一複合薄膜、一電阻式微氣體感測器及一放大電路。而電容式的複合薄膜之微氣體感測裝置,係為利用電容變化來測量待測氣體的分子濃度變化量,該電容式的複合薄膜之微氣體感測裝置包含:一複合薄膜、一電容式微氣體感測器及一震盪電路。


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