- 專利名稱(中文) / 軟性薄膜電晶體基體板的製造方法及軟性薄膜電晶體基板
- 專利名稱(英文) / Method of making flexible thin-film transistor substrate and the product made therefrom
- 所屬單位(一級單位) / 工學院
- 所屬單位(二級單位) / 材料科學與工程學系
- 發明人(中文) / 武東星
- 發明人(英文) /
- 申請國家 / 中華民國
- 專利類型 / 發明
- 專利證書號 / I287298
- 技術成熟度 / 實驗室階段
本發明是軟性薄膜電晶體基板的製造方法及軟性薄膜電晶體基板,製造方法是先在玻璃載板上以有機材料(聚對二甲基苯)沉積形成可直接自該玻璃載板剝離的離型性薄膜後,接著,可選擇性地以無機材料與有機材料形成無機層與有機層膜的順序,在離型性薄膜上形成至少一無機層膜後,再形成非晶矽或多晶矽薄膜電晶體,最後,直接將設置有薄膜電晶體的離型性薄膜從玻璃載板上撕離,即可製得軟性薄膜電晶體基板。