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  • 專利名稱(中文) / 氣體感測器結構
  • 專利名稱(英文) /
  • 所屬單位(一級單位) / 工學院
  • 所屬單位(二級單位) / 機械工程學系
  • 發明人(中文) / 戴慶良
  • 發明人(英文) /
  • 申請國家 / 中華民國
  • 專利類型 / 發明
  • 專利證書號 / I391656
  • 技術成熟度 / 實驗室階段

本發明為有關一種氣體感測器結構,所述之氣體感測器具有感測晶片,該之感測晶片製程時,主要以標準化積體電路製程方式,於基底上設置感測區與電路區,且感測區內設有可感測揮發性氣體之感測材料,最後以標準化積體電路封裝方式,在感測晶片外設置封裝殼體,藉此,利用標準積體電路製程,將氣體感測器結構及電路整合在單一晶片上,達到可在室溫下量測揮發性有機物氣體,以及兼具一體成形、降低產製成本、快速量產之實用進步性。


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