- 專利名稱(中文) / 結構分析系統及方法
- 專利名稱(英文) /
- 所屬單位(一級單位) / 工學院
- 所屬單位(二級單位) / 精密工程研究所
- 發明人(中文) / 韓斌
- 發明人(英文) /
- 申請國家 / 中華民國
- 專利類型 / 發明
- 專利證書號 / I407097
- 技術成熟度 / 實驗室階段
本發明提供一種結構分析系統,可以縮短偵測時間,並節省底片的成本及顯影時間。該結構分析系統適用於分析一待測物的結構,且包含一電磁波源、一頻譜偵測器及一處理模組。該電磁波源用於發射一具有多數頻率成分的電磁波到該待測物。該頻譜偵測器用於在空間中一位置偵測從該電磁波源發出、通過該待測物且傳送到該位置的電磁波之頻譜,以產生一頻譜資料。該處理模組用於根據該頻譜資料計算與該待測物的結構相關的資訊。