本發明關於一種太陽能電池之矽基板之製造方法，包括有：準備一表面具有一凹凸微結 構之矽基材；將該矽基材浸於一第一酸性蝕刻液中，該第一酸性蝕刻液包含有一第一濃度之 金屬離子以及一酸性溶液；將該矽基材浸於一第二酸性蝕刻液中，該第二酸性蝕刻液包含有 一第二濃度之該金屬離子以及該酸性溶液，且該第二濃度低於該第一濃度；以及移除沉積於 該矽基材之凹凸微結構表面與各該奈米槽孔內之金屬粒子。本發明還關於一種由前述方法製 得之太陽能電池之矽基板。